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        激光誘導外延生長設備 | LIEG
        激光誘導外延生長設備 | LIEG
        應用領域
        納米尺度直徑、大深寬比孔內填充非晶材料激光誘導外延生長和void消除
        產品特點
        • 國內首創,12寸量產設備

        • 激光多脈沖高精度合束調控技術

        • 大光斑、高產能

        • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

        型號LA3381G
        激光波長532nm
        晶圓尺寸12寸
        能量調控精度5mJ/cm2
        光斑頂部不均勻性≤1%
        焦深范圍5mm
        工藝效果結晶及void消除
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