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        激光誘導結晶
        設備 | LIC
        激光誘導結晶設備 | LIC
        應用領域
        非晶材料的激光結晶及原位雜質激活
        產品特點
        • 全球首創,12寸量產設備

        • 高均勻性的全自主LIET光學系統

        • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

        • nS級精確脈寬控制

        型號LA2540G
        激光波長527nm
        晶圓尺寸12寸
        能量密度調控精度5mJ/cm2
        光斑頂部不均勻性率≤1%
        焦深范圍5mm
        工藝效果一次掃描完成結晶和激活工藝
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