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        SiC晶圓
        激光退火 | LA
        SiC晶圓激光退火 | LA
        應用領域
        SiC晶圓歐姆接觸制備
        產品特點
        • 國內首家通過量產驗證

        • 成熟穩定、可靠性好

        • 全自主光學系統,LIET專利光學整形技術

        • 綠光、紫外兩種波長可選

        型號LA2515UVLA2540/2550S
        晶圓尺寸6寸、8寸
        光斑尺寸X:100~500μmY:100~500μm
        最大激光能量密度Green:10J/cm2UV:6J/cm2
        比電阻接觸率~10-5Ω·cm2
        氧含量控制≤10ppm
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